• 技術名稱
  • 整合製圖導航與雷射掃描顯微光譜影像技術提升樣品光電檢測的自動化
  • 計畫單位
  • 國立臺灣大學
  • 展區位置
  • 電子與光電
  • 聯絡人
  • 羅詔元
  • 電子信箱
  • lo.chaoyuan@gmail.com
技術說明 「台大凝態中心光電工坊」成功研發光學顯微鏡的樣品地圖與導航技術。此光機電整合系統可自動化擷取高解析光學影像及產製數位化樣品地圖,並直接於數位地圖中搜尋與定位樣品熱區位置,再移動載台將熱區置於視野中心。此技術可與共軛焦雷射掃描顯微光譜技術整合串聯,進而擷取樣品熱區雷射光譜影像,大幅提升光譜量測的效能。
科學突破性 本技術為跨領域合作之研發成果,我們將遙測空拍地圖建構地理資訊系統的概念與軟體技術應用於光學顯微鏡的光機電系統,藉由擷取與拼接高解析光學影像,並賦予坐標系統與屬性資料產製樣品地圖,以供樣品熱區定位與導覽之用,成功地解決因光學顯微鏡狹窄視野侷限造成的樣品熱區搜尋不易問題獲得解決。
產業應用性 本技術可應用於大面積半導體晶圓、二維材料、電子元件結構、發光二極體、新穎材料及生物樣品等領域。先以低倍率物鏡拍攝產製樣品地圖,再經導航定位取得熱區在高倍率物鏡下的雷射掃描光譜影像,藉分析樣品螢光或拉曼光譜,解讀光譜差異性與空間分布關係,以自動化多區塊檢測取代傳統單點抽樣檢測,大幅提升光譜檢測效能。
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