| 技術名稱 | OPC+ 跨製程節點通用雲端光罩修正平台:從矽光子到先進半導體的普惠計算微影服務 | ||
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| 計畫單位 | 國立陽明交通大學 | ||
| 計畫主持人 | 余沛慈 | ||
| 技術簡介 | OPC+為全球首個跨i-line/KrF/ArF製程節點之通用雲端OPC平台,基於CMOS最先進的反向微影演算法,透過GPU加速逾50倍,原生支援矽光子、超穎表面等自由曲線設計。提供公有雲、私有雲及混合雲三種部署模式,已於TSRI KrF 完成流片驗證,並獲工研院、台積、美國德儀等客戶評估。 |
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| 科學突破性 | OPC+為全球首個跨i-line/KrF/ArF製程節點之通用雲端OPC平台,採反向微影演算法(ILT),原生支援矽光子、超穎表面等自由曲線元件。CUDA多串流GPU架構較CPU加速逾50倍,自動CD-SEM輪廓模型校準縮短周期80,ADI誤差<2.2,提供公有雲、私有雲、混合雲三種部署模式。 |
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| 產業應用性 | OPC+提供公有雲、私有雲及混合雲三種部署模式,降低中小型晶圓廠及矽光子產業導入先進光罩修正之門檻。已服務日本TOPO-Logic Inc.之MRAM光罩修正,與英國南安普敦大學及TSRI建立合作,獲TSMC、美商德儀評估、上市公司鈦昇洽談代理,TSRI 承諾採購與ITRI詢價ArF 193整合。 |
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