| 技術名稱 | 使用金屬鈍化區域選擇性沉積之超低熱預算Cu/介電層混合接合平台 | ||
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| 計畫單位 | 國立陽明交通大學 | ||
| 計畫主持人 | 陳冠能 | ||
| 技術簡介 | 本技術建立金屬鈍化層擴散理論與選材準則,以金屬鈍化層保護銅表面,抑制銅氧化並降低接合溫度至攝氏150度以下乃至於接近室溫,結合無電鍍選擇性沉積,應用於現行Cu/SiO₂、Cu/Polymer混合接合(hybrid bonding)技術,大幅推進下一世代先進封裝與 3DIC 整合之產品與應用。 |
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| 科學突破性 | 本技術以擴散原理做為金屬鈍化層選材準則,結合Ag與Au鈍化與選擇性沉積技術,可同時應用於Cu/SiO₂與Cu/高分子兩種混合接合(hybrid bonding)平台,透過抑制Cu氧化以大幅降低接合溫度至120°C乃至於接近室溫,並實現10秒快速接合,具備超低接觸電阻之優良電性與與通過可靠度驗證。 |
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| 產業應用性 | 本技術以區域選擇性金屬鈍化層應用於Cu/SiO₂與Cu/高分子等兩種混合接合(Hybrid Bonding)平台,可大幅降低接合溫度至攝氏120度,除了減少熱預算與應力蹺曲,並可提升電性可靠度,進一步增加系統I/O密度與運行速度,適用於下世代AI與HPC系統所需之3DIC與先進封裝技術。 |
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