技術名稱 無人載具安全監控之無鉛壓電MEMS三軸加速規系統開發
計畫單位 國立成功大學
計畫主持人 朱聖緣
技術簡介
本團隊建立材料摻雜技術使無鉛材料之壓電特性大幅提升,成功製備MEMS無鉛三軸壓電加速規,有別於以往MEMS三軸壓電加速規使用PZT含鉛材料,採用無鉛材料為全球首創之開發成果。此外本團隊亦整合感測器、後端電路及使用者介面,將加速規系統應用於無人載具之安全監控,成功整合物聯網時代所需的智慧整合感控系統。
技術影片
科學突破性
本團隊具有開發壓電元件多年經驗,目前已突破現有材料ZnO壓電特性,並且與MEMS製程整合,成功開發世界第一顆MEMS無鉛壓電三軸加速規,且本團隊持續著手整合上游「壓電加速規之製作」、中游「電路與模組設計」與下游「使用者平台開發」,獨立開發出一套物聯網系統,為全世界加速度感測器領域開闢全新的道路。
產業應用性
考量到全球環保意識抬頭,對於含鉛產品的規範趨於嚴格,像是歐盟的RoHS危害性物質限制法規等,未來含鉛相關產品未來將逐漸淘汰,無鉛產品將成為未來市場主流。本團隊已開發的MEMS無鉛壓電加速規,其擁有體積小、質量輕以及可由晶片異質整合技術與CMOS製程等優點,目前已可應於於無人載具等振動環境感測。
媒合需求
天使投資人、策略合作夥伴
關鍵字 微機電系統 無鉛 壓電 三軸加速規 低功耗 環保 物聯網 轉阻電路 逐漸趨近式類北數位轉換器 氧化鋅
備註
  • 聯絡人
  • 陳約翰