技術名稱 螢石氧化鉿鋯材料於熱電能量回收,用於3D IC封裝、立體堆疊晶片、晶背供電應用
計畫單位 國立台灣大學
計畫主持人 吳志毅
技術簡介
本技術以螢石結構氧化鉿鋯材料為核心,應用於熱電獵能。在具有溫差環境下透過熵值轉換達成高效能量回收。以正鐵電及反鐵電材料開發,並具有壓電及熱電效應。相反極性電場循環達成完全恢復疲勞,大幅延長使用次數。目標為開發於3D封裝、立體堆疊、背面供電技術等應用中的潛力。
科學突破性
突破傳統以水冷或被動式冷卻元件針對半導體元件之熱集中問題改善,以新興螢石結構氧化鉿鋯材料之熱電特性達成高效能源轉換。最佳化的反鐵電元件達成 10.37 J/cm³ 的可採集能源密度。透過自我恢復機制可承受超過 10¹² 次循環無性能衰退並由原子級材料分析驗證理論模型。
產業應用性
本技術以先進製程持續微縮所帶來的散熱問題為出發點,開發螢石結構氧化鉿鋯材料元件於熱電獵能應用。此材料展現正、反鐵電特性,具備與先進製程的高度相容性,並針對 3D 封裝、立體堆疊晶片及背面供電 等熱集中問題尤為嚴重的應用場景展現發展潛力。
  • 聯絡人
  • 李敏鴻教授