技術名稱 應用於智慧健康與環境監測之新型摻錫氧化鎵薄膜高效能一氧化氮氣體感測器
計畫單位 國立中興大學
計畫主持人 武東星
技術簡介
1. 本技術製備之 β-Ga₂O₃(Sn) 奈米柱狀薄膜,對一氧化氮氣體展現迅速的2 秒響應時間、高效的4 秒恢復時間,並達到30 ppb 的偵測極限。
 
 2. 錫(Sn)摻雜比例使 β-Ga₂O₃ 的奈米結構從棒狀逐漸轉變為紡錘狀型態。
 
 3. 使用氧氣的氣氛條件退火後會改善氣體感測機制。
科學突破性
1. 本技術以較低成本的化學水浴法(CBD), 以創新的方式製備摻錫之氧化鎵薄膜。
 
 2. 具偵測至 30 ppb 的偵測極限,並展現出極迅速的2 秒響應時間,以及高效的4 秒恢復時間,為目前在國際學術期刊最佳效能。
 
 3. 可數秒完成一氧化氮的檢測,避免一氧化氮會在極短時間內轉化為二氧化氮
產業應用性
1. 在現代醫療診斷,呼氣分析正扮演重要的角色。一氧化氮呼氣濃度(FeNO)通常落在 25 至 80 ppb 之間,氣喘病患超過 50 ppb 被視為偏高,可應用於氣喘監控、智慧醫療設備。
 
 2. 針對汽車廢氣控制、工業排放偵測、以及爆炸性氣體之監控等環境感測模組應用。
關鍵字 一氧化氮 氣體感測器 氣體感測 氧化鎵 β相氧化鎵 摻錫 奈米柱 奈米棒 高長寬比 氧空缺
  • 聯絡人
  • 林偉立