技術名稱 大面積、高效率、CMOS製程兼容的超穎透鏡
計畫單位 國立陽明交通大學
計畫主持人 余沛慈
技術簡介
本技術利用半導體CMOS製程常用的低成本光學微影技術,成功在8吋玻璃基板製造出332顆直徑8毫米、每顆包含7000萬組奈米結構的高效率近紅外光與可見光的超穎透鏡,達到接近繞射極限的轉換效率,實現光學微影技術批量製造超穎表面與超穎透鏡,並使微型CMOS感測器中光學和電子元件的集成成為可能。
科學突破性
本技術使用半導體CMOS製程常見的材料與設備,透過低成本的光學微影與解析度增益技術,實現大量製造大面積近紅外與可見光的超穎透鏡與超穎表面全像片,因可精準地控制奈米柱的高度與尺寸,本技術展示的超穎透鏡有接近繞射極限的高轉換效率,未來可設計高規格超穎透鏡同時集成於 IC晶片。
產業應用性
近年元宇宙概念興起,帶動虛擬與擴增實境(Virtual / Augmented Reality, VR/AR)相關穿戴裝置的發展,超穎表面與超穎透鏡可取代整合傳統的光學元件的功能,且集成光學和電子元件於微小的IC晶片,對未來穿戴裝置或是CMOS感測模組的微小輕量化將是極有潛力的應用。
關鍵字 超穎透鏡 超穎表面 光學微影光 量產 學鄰近修正 深度學習 元宇宙 擴增實境 虛擬實境 混合實境
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  • 邱麗君
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