"創新式Abbe-free晶圓三軸量測平台系統，可實現符合Abbe-free誤差架構的大範圍 (12吋晶圓) XYZ 三軸位移平台，為國內首見由學界自行研發的奈米級精密平台，可廣泛應用於精密製程與線上量測的使用，可供國內進行光學量測探頭之整合與應用測試。

晶圓檢測平台技術成功結合精密量測、精密定位

"創新式Abbe-free晶圓三軸量測平台系統: 為創新性產品，目前沒有相同的產品，目前在德國有一台三軸類似平台，運用不同原理，其可移動範圍僅達200x200x50 mm3 . 目前僅生產一台給Stuttgart 大學，運用於AOI ，售價為500萬歐元 (約NT$2億)，其仍未真正進入市場.

本

"1.晶圓CMP研磨後表面之平整度與瑕疵檢測，大尺寸晶圓檢測更容易
2.晶圓微影曝光後之奈米級線寬等CD檢測
3.定位技術是機械工業的重要基礎之一，將定位精度提升到奈米等級，是一個由機械領域切入奈米技術的關鍵點。長行程奈米定位平台可運用在半導體封裝製程，與超精密加工機台，也可為量測機台提供精準的橫向