| 技術名稱 | 先進Ｘ光光學 -讓不可見的材料特性被精準量測與操控 | ||
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| 計畫單位 | 國家同步輻射研究中心 | ||
| 計畫主持人 | 傅皇文 | ||
| 技術簡介 | 國輻中心自主研發25點彎曲鏡系統，可高精度調控鏡面形貌，主動優化EUV至軟X光光束品質與聚焦性能，提升量測靈敏度與穩定性，支援先進光束線、半導體及新穎材料研究。 |
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| 科學突破性 | 國輻中心自主研發25點彎曲鏡技術，突破傳統固定式光學限制，實現鏡面形貌高精度主動控制，可依需求最佳化EUV至軟X光光束，提升聚焦效率、穩定性與實驗彈性。 |
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| 產業應用性 | 此技術可提升EUV至軟X光光束品質與聚焦能力，應用於半導體檢測、先進材料分析及量子元件開發，協助提升量測精度、加速研發流程，並強化同步輻射光束線效能與產業競爭力。 |
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- 聯絡人
- 傅皇文
- 電子信箱
- fu.hw@nsrrc.org.tw
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