技術名稱 應用於自駕車與擴增實境之壓電式MEMS微掃描面鏡開發
計畫單位 國立清華大學
計畫主持人 方維倫
技術簡介
(1) 元件(新穎的結構設計):實現高性能指標微掃描面鏡,完成符合車規與消費性電子產品之創新設計。

(2) 製程(壓電製程平台):和晶圓代工廠合作,透過團隊MEMS開發經驗,建立壓電參數資料庫,實現晶片批量化製造

(3) 模組與應用(光機電模組化):依需求客製化設計導入LiDAR與HUD模組。
科學突破性
針對LiDAR與Display:

(1) 面鏡尺寸:直徑3 mm之面鏡尺寸下,掃描角可達140度。

(2) 操作頻率:在37 kHz的驅動頻率下,掃描角度高達70度。

(3) 掃描角度:不需要真空封裝下,掃描角達180度。(全球第一顆)

(4) 操作模式:在雙軸成像下可完整投影近乎垂直的影像邊界。
產業應用性
團隊所開發的壓電式MEMS微掃描面鏡未來能分別導入在民生、工業、醫療等領域:

(1) 汽車工業:自駕車光達系統、抬頭顯示器(符合業界規格)

(2) 消費性電子產品:頭戴式顯示器、智慧眼鏡、微型投影(符合業界規格)

(3) 無人工廠:機械手臂、智能運輸系統

(4) 新興前瞻領域:微創手術、量子電腦
關鍵字 微掃描面鏡 微機電系統 壓電式致動器 光學雷達 抬頭顯示器 頭戴式顯示器 智慧眼鏡 壓電製程平台 自駕車 擴增實境
備註
  • 聯絡人
  • 黃原圓
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