技術名稱 常壓環境雷射耦合多相反應流體微奈米3D金屬/透明導電圖樣直析綠色製程
計畫單位 國立清華大學
計畫主持人 李明蒼
技術簡介
雷射耦合水溶液基底多相反應流體的創新製程技術,可在常壓及接近常溫的大氣環境下,經由一道製程製作金屬或金屬氧化物透明導電精細線路圖樣。透過變更反應前驅物溶液,可依序於自由曲面或可撓基板上鍍製及圖案化多種功能性的材料圖樣,製作光電子元件。製程效率、製造成本(包含碳排放)以及成品光電性質方面,皆極具優勢。
科學突破性
此前瞻專利技術的前驅物離子反應溶液採用對生物環境較為友善的溶劑與還原劑,藉由離子於水溶液中的良好質量傳遞,大幅提升材料沉積速率及使用率,極具綠色製程的優勢,所製作的金屬微細導線電阻率等同甚或優於其他相似製程,TCO的電阻率及可見光穿透率接近商用水準,並形成光熱耦合多相複雜流體應用於製造的新研究主題。
產業應用性
本技術僅需一道製程步驟即可於三維自由曲面基板上選擇性地形成3D圖樣化鍍膜,線路厚度與寬度可以根據設計需求調控,透過調整前驅物,可於同一基板上鍍製種材料,實現單機元件製作。應用包括3D通訊裝置、透明發光顯示裝置、溫控光學鏡片、精準健康醫療用的個人化穿戴式裝置等。結合自動光學檢測技術亦可用於導線修復。
關鍵字 綠色製程 雷射低溫製程 雷射大氣電漿製程 電路修復 循環經濟 低碳經濟 透明導電膜 軟性電路板 穿戴式裝置 3D電子產品
備註
  • 聯絡人
  • 李明蒼
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