技術名稱 高精度雙光子3D微影技術用於微任意3D微結構製造
計畫單位 國立清華大學
計畫主持人 傅建中
技術簡介
雙光子微影結合了雷射直寫技術,透過物鏡聚焦後在焦點與材料發生雙光子吸收效應,進而使材料鏈結或斷鍵,透過壓電平台的移動,製作出3D微結構及任意3D結構。
目前這個平台可製作約300nm的橫向解析度,1200nm的縱向解析度,結構高度可大於130um,最高加工速度可達100um/s,目前朝自動化及關燈生產邁進。未來振鏡系統之加工速度可再提升100倍。
科學突破性
我們的系統有最新開發之路徑規劃軟體,不僅使結構精度大幅提升,還可適用於成型任意曲面之結構,如複合式透鏡。此外,我們也開發連續多檔拼接之功能,此系統除了降低了人為操作誤差以外,也定期監控及修正雷射功率,使結構良率提升,邁向關燈生產,目前成功應用並製作出大面積之非球面微透鏡陣列,結構誤差為奈米等級。
產業應用性
我們的雙光子微影技術能製作出許多不同結構,優異的解析度與精度,以及隨意形狀、快速成型的結構是我們提供產業的價值,此外,我們研發出的連續多檔自動化拼接之功能,能夠製作出大面積陣列結構,使得本實驗室的產業價值大幅提升。目前本實驗室開發中的振鏡快速成形系統,將使得我們的製造速度提升至現有技術的100倍。
關鍵字 雙光子微影 3D微結構 3D列印 光學微結構 微型超材料 快速成形 鏤空結構 任意結構 微透鏡陣列 高精度
備註
  • 聯絡人
  • 吳佳容