"1.大面積(1220mm*650mm)、高批量設計(60片/batch)
2.遠端監控系統，避免人員於特氣環境下工作，保護作業人員安全
3.尾氣處理採用混合乾式吸附與水洗系統，廠務排放製程反應氣體零檢出
4.特氣流量控制精度誤差3
5 加熱器升溫速率1℃/s，溫度控制誤差

"1.高批次量生產，批次生產基板數60片(國外設備40片)
2.基板升溫速率10℃/s(國外設備8℃/s)
3.基板溫度均勻性10℃(國外設備10℃/s)
4.低設備成本(3000萬)，高競爭力(國外設備4500萬)
5.設備自主開發，具擴充延

本計畫為國內首次自行開發大面積、高批次量產型之硒化製程結晶爐，將應用於上銀光電生產高效率CIGS太陽能電池。成功開發此技術將可大幅降低CIGS薄膜太陽能電池之設備支出費用，若以240MW之產能建置規劃，將可節省新台幣20億之設備支出。