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2017
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電子與光電
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使用介電層自聚焦式之離子束微影技術
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技術名稱
使用介電層自聚焦式之離子束微影技術
計畫單位
國立臺灣大學
計畫主持人
-
技術簡介
能大範圍的做出小於10奈米的圖形
科學突破性
避開一般傳統光學系統所遇到的困難,以達到小於10奈米的微縮能力
產業應用性
未來尖端奈米科技需要小於10奈米的微縮製程
關鍵字
備註
聯絡人
黃慧嫺
電子信箱
futuretech.most@gmail.com
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