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  9. 使用介電層自聚焦式之離子束微影技術

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技術名稱 使用介電層自聚焦式之離子束微影技術
計畫單位 國立臺灣大學
計畫主持人 -
技術簡介 
能大範圍的做出小於10奈米的圖形
科學突破性 
避開一般傳統光學系統所遇到的困難，以達到小於10奈米的微縮能力
產業應用性 
未來尖端奈米科技需要小於10奈米的微縮製程
關鍵字
備註 

            


            
            
                    

        
        

            

                
    
                    
  • 聯絡人
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  • 黃慧嫺
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