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2017
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原子層數位化蝕刻技術
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技術名稱
原子層數位化蝕刻技術
計畫單位
國立臺灣大學
計畫主持人
-
技術簡介
利用氧化氣體擴散瓶頸加上化學蝕刻,達到蝕刻厚度的精準度在原子尺度
科學突破性
大面積蝕刻率均勻,可以不需要利用時間控制
產業應用性
電晶體製程技術,十奈米以下電晶體製程技術
關鍵字
聯絡人
黃慧嫺
電子信箱
futuretech.most@gmail.com
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