技術名稱 奈米雙晶銅用於人工智慧及三維積體電路晶片的封裝
計畫單位 國立交通大學
計畫主持人 陳智
技術簡介
由交通大學研究團隊所開發之(111)奈米雙晶銅電鍍方法及添加劑來應用於新一代科技產品,此奈米雙晶銅具有高強度、高抗電遷移、高表面擴散係數、高熱穩定性及低氧化速率。很有機會推廣至高階扇出(Fan-out)封裝細線路重佈線層(Fine redistribution line (RDL))並應用於人工智慧
科學突破性
"電鍍銅技術已有數十年歷史。我們能電鍍出創新的晶粒結構,有很高的創新,因此獲《Science》期刊肯定: Unidirectional Growth of Microbumps on (111)-OrientedNanotwinned Copper, Science, 336, 1007(
產業應用性
晶圓製造業及封裝業
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