半導體奈米先進製程控制優化決策與虛擬量測技術是整合大數據和優化決策型虛擬量測，透過獨家開發的感測器特徵工程及關鍵參數搜尋演算法建構穩健的品質特性虛擬量測模型，經實證預測準確度最高可達0.844，且在量測延遲的情境下，讓先進製程控制績效提升5，不僅兼顧生產力以及產品良率，也有效縮短導入量產時間。

相較一般虛擬量測技術，本技術特別強調結合先進製程控制的決策目標以及能夠快速的導入應用。在結合決策目標上，本技術具體說明在預測準確度最高可達84.4且改善先進製程控制績效約5；同時因為不需過度仰賴領域知識，可以減少人為調整參數的時間與更廣泛地應用於不同的製程領域，同時也間接縮短導入量產時間。

本先進製程控制優化決策與虛擬量測技術，以優化先進製程控制決策為目標，結合製程感測資料發展決策型虛擬量測技術，因基於數據驅動特性而不須過度仰賴域知識，故可快速應用至各種產品製造步驟繁複、受限於逐項量測限制的製造產業，如半導體產業、電子產業等，兼顧生產力以及產品良率，並有效縮短導入量產時間。