提供一種減少晶圓切割製程中產生的廢矽漿生成的產氫系統，不僅能有效地解決環保問題，且可由晶圓切割製程中產生的廢矽漿中分離出可用以產氫的矽粉以達到回收處理矽晶圓切割研磨廢棄物的目的。
本技術之另一目的係將晶圓切割所產生之廢矽漿回收純化乾燥成矽粉後作為產氫反應之原料與水在特定溫度進行反應進而產出氫氣，搭配KOH、Na2SiO3、H2SiO3等添加劑以特定配方改善產氫速率及產率。
為達上述目的，本技術提供一種利用低成本回收矽粉搭配添加劑配方進行產氫的化學產氫系統，包括：一矽粉回收裝置，用以由取自於一晶圓切割製程中產生的一廢矽漿回收一矽粉，並供應該矽粉；一反應裝置，用以容置該矽粉，並提供一反應水，以與該矽粉進行化學反應產生氫氣；以及一催化劑供應裝置，用以提供包括由氫氧化鉀組成的一催化劑至該反應裝置中；其中該矽粉取自於該晶圓切割製程中產生的廢矽漿，故可用以解決廢矽漿處理的問題並改善產氫速率及產率。

化學產氫系統可由晶圓切割製程中產生的廢矽漿中分離出可用以產氫的矽粉，以達到回收處理矽晶圓切割研磨廢棄物的目的。

主要以製程上需要氫氣或熱電的廠商為主，並且本技術因應未來綠能減碳議題下，可以提供一完整高效率綠能製程，可廣泛應用在氣體業、發電業、製造業等