技術名稱 石墨烯薄膜層數檢測系統及檢測方法
計畫單位 國立中正大學
計畫主持人
技術簡介
與既有技術之比較,現階段判別層數方式包含拉曼光譜、穿透光譜、原子力顯微鏡與光學顯微鏡,拉曼可以藉由判別G-band 之強度改變與 2D-band的拉曼頻率改變,穿透光譜則是可以透過量測穿透率的方式得到層數的資訊,單層石墨烯的穿透率為97.7%,原子力顯微鏡則是可以藉由判別表面的粗糙度,單層石墨烯之厚度約為0.34nm,相比之下,光學顯微鏡提供快速成像速度,可以用來作為一種快速和直觀的方式,以可視化的石墨層,並獲得關於多層石墨烯之相關訊息,但是這樣的技術需要特定厚度的基板,而在透明基板上是無法做到的。本創作使用多頻譜色彩影像再現技術,並搭配顯微鏡、CCD等裝置,可應用於快速檢測與辨識低層數石墨烯於透明基板上或是其他產業上(如良率、品質)之檢測上。
科學突破性
本專利之石墨烯薄膜檢測系統儀器較簡單,相較傳統石墨烯層數檢測法,則不須特定基板厚度與結構,而且演算法之參數較明確以及簡單,甚至不須控制顯微鏡內照明光源的顏色變化就能夠實現石墨烯薄膜檢測與分析。
產業應用性
現今的技術,在辨識少層數石墨烯的視覺對比上仍有待加強。我們的方法則是利用多頻譜色彩再現影像的檢測石墨烯薄膜流程,解決上述的量測時間過長、量測的不確定性、需要特定的基板厚度與結構及少層數石墨烯的視覺對比不足的問題。
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