本發明提供一個微型物體掃描與取樣裝置，該裝置整合三維掃描平台、三軸機械臂及光學顯微鏡；透過顯微鏡於指定區域內逐步掃描，找尋目標物，再利用機械臂上的微細針頭吸取微小物體。本發明可取代或輔助人工鏡檢作業，預期可提高樣品揀選速率三成以上，亦可已建立標準化作裝程，提高產出品質一致性。

本項發明具有三項創新的技術，包括：1. 利用控制手把或滑鼠點選目標物來控制取樣檢視平台的移動；2. 顯微掃描平台整合顯微鏡、三維移動平台及三軸機械臂，執行精細的三維水平位移動作及機械取樣動作；3. 裝載在可三維運動機械臂的微細金屬針，透過金屬針頭內部的負壓，進行微小物體的吸附。

本項發明可應用於精密加工，自動化工業和機器人等行業，如微型自動點膠，顯微注射，微觀物體的粘附和注射，以及微結構表面的觀察和清潔。對於學術研究，該裝置可用於浮游動物，種子和金屬雜質的樣品分選。