技術名稱 可控式鑽石磨粒排列與表面強化之切割線技術研發
計畫單位 國立臺北科技大學
計畫主持人 何昭慶
技術簡介
傳統製程利用塗布具有圖樣化絶緣膠膜來控制磨粒分佈的方法,但這對上砂效率及鍍液中磨粒鎳膜壽命的改善,並無直接的助益。而鎳膜中加入特殊的成分以提高其鍍液中使用壽命的作法,必増加原料的成本,對上砂效率也同樣無助益。本技術提出能同時解決:磨粒分佈無法均匀控制、上砂效率差、鍍液中磨粒鎳膜壽命短等諸多問題。
科學突破性
本研究突破鑽石切割線的磨粒排列與表面強化技術,透由磁控式鑽石磨粒排列之鑽石線研發,達到可控磨粒之鑽石切割線,增加材料移除率,增加加工速度、延長線鋸的壽命、降低線鋸成本為本研究計畫的重要指標,帶動鑽石切割線上下游的產業發展。
產業應用性
鑽石切割線技術可用於切割單晶/多晶矽、LED 藍寶石基板、砷化鎵、磁性材料、水晶等硬脆材
料,鑽石切割線技術興起,逐漸取代砂漿線切割技術,可減少晶圓、石英等硬脆材料切割所帶來的切削損失(Kerf loss)及增加其產能。
關鍵字 鑽石切割線 鑽石磨粒 可控磨粒排列 鑽石切割 磨粒分佈 電解法修銳 奈米碳管 表面強化 磁控式 銳製程參數優化
備註
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  • 何昭慶