技術名稱 桌上型超快極紫外雷射
計畫單位 國立清華大學前瞻物質基礎與應用科學中心
計畫主持人 陳明彰
技術簡介
"清華大學光電工程研究所副教授陳明彰等人組成研究團隊與美、中、
西等國際團隊合作,近期突破學界多年來的瓶頸,成功創造出體積小卻更亮、更短脈衝的極紫外光(EUV),且能任意調變偏振,能看見奈米級的微影世界,將加速半導體及生醫領域的奈米等級研究,其中高亮度的13.5nm的光源,正是下一世代半導體產業重要
科學突破性
陳明彰教授實驗室,偶然將光圈置放於高次諧波實驗前方,竟發現只要調整光圈大小,就可精巧控制極紫外光的頻寬和中心波長,突破了傳統高次諧波的能量極限,讓18奈米的光子數增強了4百倍。加強供給紅外光本是負效應,光圈用來控制散焦,原來也是個負效應,「但兩個負面效應碰在一起,居然負負得正,成為美麗的巧合。」
產業應用性
「桌上型極紫外光」光源的應用層面將十分廣泛,包括半導體產業的研發、檢測、製程,生醫界也可以此看到更微小的疾病細胞。
關鍵字 桌上型極紫外EUV光源 超快X光
備註
  • 聯絡人
  • 陳明彰