技術名稱 基於雙光子/多光子技術的3D微奈米結構加工系統之開發以及於生醫組織工程以及三維光子晶體之應用
計畫單位 科技部積層製造專案計畫
計畫主持人 -
技術簡介
振鏡式光纖雷射三光子3D奈米結構加工系統之研究與開發: 開發一可製作出任意3D微奈米級結構的系統,此系統使用自行開發的雷射源、光路系統與標準運動平台、顯微鏡,配合電腦輔助設計繪製出所需之圖形結構,並在短時間內加工完成。
科學突破性
"1. 利用劑量模擬系統成功製作出子計畫四之微結構,與線寬350nm以下之螺旋結構。
2. 由於Holography可以藉由改變輸入不同的電腦全像片,而使目標圖案在目標面上移動使其達到掃描的功能,並且能共同時產生多種不同線寬的組合(28.8um、53.31um、76.59um)如圖,因為雷射同調性高
產業應用性
針對微米尺度的微結構提供新的製作方式,利用三維空間任意加工及雷射光聚焦特性,達成積層製造所無法製作的次微米線寬,與黃光微影缺少的空間加工任意性。
關鍵字
備註
  • 聯絡人
  • 葉雲鵬
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