技術名稱 高剛性空氣軸承
計畫單位 大銀微系統股份有限公司
計畫主持人 -
技術簡介
HIWIN空氣軸承技術為透過高壓氣體通過多孔材料,使流出氣體在導引面與空氣軸承間形成氣體薄膜,使空氣軸承與負載可懸浮在導引面上。空氣軸承具有無磨擦力、無磨耗、不發塵、免保養、不發熱、高剛性等特性。HIWIN的空氣軸承,同時兼具高承載力、高剛性與高氣浮穩定性等特性,使設備具備高導引精度外,更可提升設備
科學突破性
HIWIN空氣軸承透過不同的HIWIN多孔質材料技術,使其可為高承載力軸承與高剛性軸承,高承載軸承可在相同尺寸軸承情況下承載更重的負載;而高剛性軸承可提升設備整體剛性,使定位平台自然頻率達200Hz以上。此外,空氣軸承的氣浮穩定性可達±5nm,大幅提升半導體光學檢測設備良率。
產業應用性
"HIWIN空氣軸承
應用潛力:在高精度、高速度的運動條件下仍擁有優秀的穩定性,由於無磨擦力的特色下,運動特性有著較低速度漣波,亦可使用於高重量移載。
應用對象: 曝光製程、晶圓檢測、雷射切割、光學平版印刷、光學校準、移載運動。
應用業別: 半導體業、雷射加工、精密量測、光學檢測設備。"
關鍵字
備註
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  • 王永慶
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