技術名稱 成長在石墨烯上之一維奈米結構以及元件應用
計畫單位 國立臺灣大學
計畫主持人 -
技術簡介
利用石墨烯作為介面可使奈米線以垂直石墨稀面的方向成長,並且應用到不同基板上,以利元件整合製作。利用此技術可以在晶面方向的矽基板成長出奈米線並作成電晶體。
科學突破性
利用石墨烯控制奈米線成長方向並且應用到不同基板方向上,以利元件整合製作。三五族奈米線成長方向為[111]B,直接於矽基板成長會受限於基板的晶面方向。在傳統(001)矽基板上將無法垂直成長。然而,在矽基板上貼上石墨稀二維材料後,三五族奈米線方向將與石墨稀平面垂直。可藉由石墨稀層去除基板方向的限制。因而
產業應用性
半導體產業
關鍵字
備註
  • 聯絡人
  • 黃慧嫺
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