化學法產氫因為不需要額外的能源供給也因此非常具有潛力。利用奈米化結構的矽材，將可透過化學法達成高產氫速率以及高產出率。此外利用矽材產氫亦具有永續意義，海砂、稻殼及半導體工業所產生的矽晶圓廢料皆能回收再利用。目前我們已驗證半導體工業之回收矽粉(Kerf Loss)在未經表面修飾以及尺度改善的情況下，能

氫氣因其重量輕、高能量密度及無污染等特性，被視為最佳的產生潔淨能源的燃料，而利用水分解反應產生氫氣之化學產氫方法，特別是鋁與水的反應產生氫氣之方法，已有許多論文及專利發表，該方法在潔淨能源之實用化正在持續發展中。在製造半導體晶片及太陽能板的產業中，矽晶圓被切割、研磨的過程會挾帶著切削時所產生的矽粉碎

回收矽粉在提升反應溫度及使用添加劑後，產率及反應速率皆大幅提升，反應約3分鐘即達約80產率，而產氫速率則達約3.4 x 10-3 g(H2) g-1(Si) s-1，再次重複以70℃、八組添加劑實驗，發現產氫表現有所改善，其中最佳產氫結果之產率達92，速率達4.72 x 10-3 g(H2) g